200-mm-Teflon-Wafer-Kassette mit PFA-Material

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Beschreibung

Entwickelt, um chemischer Exposition in fortschrittlichen Wafer-Reinigungsprozessen standzuhalten

PFA-Waferkassetten sind für den sicheren Transfer, die Lagerung und die Reinigung von Halbleiterwafern in korrosiven chemischen Umgebungen und Anwendungen mit Hochtemperatur-Nassprozessen konzipiert. Hergestellt aus hochwertigem Perfluoroalkoxy (PFA) oder Teflonharz bieten diese Waferträger außergewöhnliche Beständigkeit gegenüber starken Säuren, Flusssäure, alkalischen Lösungen und kontinuierlicher Exposition gegenüber Temperaturen von bis zu 220 °C ohne Verformung, Degradation oder ionische Kontamination.

Die glatten, durchscheinenden Oberflächen minimieren die Partikelbildung, vereinfachen die Reinigung und erhalten die Integrität der Wafer während kritischer Fertigungsschritte. PFA-Waferkassetten sind mit Standard-Waferverarbeitungswerkzeugen, Nassbänken und SMIF/FOUP-Schnittstellensystemen kompatibel, was einen direkten Transfer zwischen Säurebädern, Waferätzen und Inspektionsgeräten ermöglicht. Ihre herausragende chemische Beständigkeit, dimensionsstabile Eigenschaften und ultra-reines Design machen sie ideal für die Waferreinigung, -ätzung und Hochtemperaturverarbeitung in fortschrittlichen Halbleiterfabriken.

Referenzmaterialien

Hiner-pack® Wafer-Carrier-Serie Catalog.pdf

8039 KB

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Hiner-pack® 8-inch Teflon Wafer Cassette-PFA.pdf

539 KB

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Anwendung

• Handling wafers in high-temperature or corrosive wet processes

• Use in chemical baths for wafer cleaning or etching

• Storage of wafers in environments requiring chemical resistance

• Long-term use in fabs due to superior durability and purity

Spezifikationen

BASIC INFORMATION
Part Number	Collocation Reference	Wafer Size
MCS-8/25-NP-PFA	--	8"/200 mm
Material	Maximum Capacity	Color
PFA	25	Transparent
Delivery Time	Usually 2-3 weeks, depending on order quantity

* For more sizes or customization needs, please contact our team. We offer one-stop packaging solutions for your products.

TECHNICAL DATA
PROPERTY	TEST METHOD	RATED VALUES
Specific Gravity	ASTM D-792	2.12~2.17
Water Absorption	ASTM D-570 (24h, 1/3" thick)	<0.01%<>
Molding Shrinkage	--	0.04 cm/cm
Contact Angle	Angle with Horizontal Surface	115°
Thermal Conductivity	ASTM C-177	--
Coefficient of Linear Thermal Expansion	ASTM D-696 (23~60°C)	12x10-5 /°C
Melting Point	--	302~310 °C
Melt Viscosity	--	104~105 /°C (380°C)
Maximum Continuous Use Temperature	--	380°C
Tensile Strength	ASTM D-638 (23°C)	27~31 MPa
Elongation	ASTM D-638 (23°C)	280~300 %
Compressive Strength	ASTM D-695 (1%deformation, 25°C)	5~6 MPa
Tensile Resilience	ASTM D-638 (23°C)	--
Flexural Resilience	ASTM D-790 (23°C)	647~686 MPa
Impact Strength	ASTM D-256 (23°C, Izod)	--
Hardness	Durometer	D60 shore
Bearing Deformation	ASTM D-621 (100°C, 7MPa, 24h) ASTM D-621 (23°C, 14MPa, 24h)	2.4 % 2.7 %
Static Friction Coefficient	Against Steel	0.05