Cassette de oblea de teflón de 8 pulgadas - PFA

Construido para resistir la exposición química en procesos avanzados de limpieza de obleas

Cassettes de obleas de PFA están diseñados para la transferencia, almacenamiento y limpieza seguros de obleas semiconductoras en entornos químicos corrosivos y aplicaciones de procesos húmedos a alta temperatura. Fabricados con resina de perfluoroalcoxi (PFA) o Teflón de primera calidad, estos transportadores de obleas proporcionan una resistencia excepcional a ácidos fuertes, ácido fluorhídrico, soluciones alcalinas y exposición continua a temperaturas de hasta 220 °C sin deformación, degradación o contaminación iónica.

Las superficies lisas y translúcidas minimizan la generación de partículas, simplifican la limpieza y mantienen la integridad de la oblea a lo largo de pasos críticos de fabricación. Los cassettes de obleas de PFA son compatibles con herramientas estándar de procesamiento de obleas, bancos húmedos y sistemas de interfaz SMIF/FOUP, lo que permite la transferencia directa entre baños ácidos, grabadores de obleas y equipos de inspección. Su excepcional resistencia química, estabilidad dimensional y diseño ultra limpio los hacen ideales para la limpieza de obleas, grabado y procesamiento a alta temperatura en fábricas avanzadas de semiconductores.